产品中心

您的位置: > 首页 > 产品中心 > 高能注入机

高能注入机

发布时间:2018-09-07 访问次数:1742次 分享:

设备主要用于逻辑和存储器件、成像器件、功率器件的注入工艺。设备不仅具有稳定性强、注入参数控制精度高、注入均匀性与重复性好的优点,而且公益覆盖范围十分广泛。

The high energy solutions are used for the ion implantation of logic, storage device, image and power device. They can cover a wide range of process with accurate implant parameters, well uniformity and repeatability.

主要技术指标
离子能量
Energy
200 keV-3 MeV
离子源寿命
Source Lifetime
≧200 小时
束流强度
Beam Current
B+,1MeV,≧1000 uA
剂量注入范围
Dose Range
1E11-5E15ion/cm²
均匀性与重复性
Uniformity and Repeatability
剂量:1E11-5E11ion/cm²,1σ≦1%;剂量:5E11-5E15ion/cm²,1σ≦0.5%;
特点:
单圆片注入、高性能、长寿命离子源、能量范围大、能量纯度高、束流能量高、单电荷离子>1 MeV、束流传输效率高、注入流强大。
Single wafer implantation, well performance and long lifetime ion source, wide range of dose, high energy purity, high beam energy, E>1 MeV for single charge, high transmission efficiency, high beam current.


科创项目库

更多>>
  • 高功率半导体激光芯片

    项目简介:真正实现高功率半导体激光芯片的国产化。

  • 新型智能气体传感器检测芯片

    项目简介:集成式智能气体传感器检测芯片产品及解决方案供应商

  • 新型电荷量化型模数转换器

    项目简介:定位于中高端模拟芯片市场,与传统模数转换器相比,该结构数模转换器采用创新型设计,内部不采用比较器,电压越低越有优势,设计难度小,流片成功率很高,同时面积较小。

  • 低功耗宽带无线通信收发器

    项目简介:该芯片是高性能无线射频模拟通信芯片归属于上述的射频模拟芯片的一个分支,主要是给各种高性能通信设备提供无线通信的核心芯片,包括手机4G,4.5G以及未来5G 等室内基站和室外宏基站的核心通信芯片,无人机的高性能无线图传芯片也是一个可能的市场方向。