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KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机

发布时间:2018-09-11 访问次数:1504次 分享:

  • 产品名称: KS-S100-2C/3C 星型全自动匀胶机
  • 基片尺寸: 2”,4”,6”
  • 适用材料: 蓝宝石/硅/砷化镓 / 二氧化硅 / 锗 / 陶瓷/砷化镓 / 碳化硅/ 氮化镓
  • 适用工艺: 传感器芯片制造 /光通信芯片制造/功率芯片制造/LED芯片制造/图形化衬底制造
  • 适用于2”、4″、6″标准圆形基片匀胶工艺。

    1.整机采用框架结构,主要由盒站单元、传片单元、匀胶单元、热处理单元、冷盘恒温单元、控制系统、光刻胶供应系统及排液系统等组成。

    2.工作方式为自动完成匀胶工艺加工过程。

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