产品中心

您的位置: > 首页 > 产品中心 > 氧化/扩散炉系列

氧化/扩散炉系列

发布时间:2018-09-11 访问次数:2182次 分享:

产品名称: 氧化/扩散炉系列   

应用领域:半导体
关 键 字:扩散炉,氧化扩散炉
产品咨询电话:4008-110044
产品详细描述:
产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸 
 扩散炉产品特点: 
◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行自动控制 
◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 
◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用进口质量流量计(MFC)
◆控温精度高,温区控温稳定性好;
 扩散炉主要技术指标 
◆工作温度:200~1300℃
◆加热体控制点:3/5点
◆炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm 
◆恒温区精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃ 
◆单点温度稳定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h 
◆最大可控升温速度:15℃/min 
◆最大降温速度:5℃/min(900~1300℃)
◆供电:三相四线,380VAC/50HZ 
◆局部净化等级:100级。
◆氧化系统:干氧、湿氧(氢氧内外点火)
欢迎索取相应详尽的技术资料及共研相应项目的解决方案。

科创项目库

更多>>
  • 面向AI的通用并行处理芯片

    项目简介:Nvidia GPU是当今AI和并行计算领域的领先者海飞科AIGPU将提供类似的编程模型和在AI应用方面更高的效率和性价比。

  • 声能压缩机制冷技术

    项目简介: 声能制冷技术是目前国际上一项极具颠覆性创新价值的前沿技术,居于世界制冷与重大技术装备制造产业战略高端地位,是世界发达国家竞相投巨资重点开发的战略新兴产业。我国对声能制冷技术的研究起步比较晚,目前基本还处于实验和示范阶段,实际应用领域几乎空白。 我们的技术团队前瞻性的开展声能制冷技术跟踪、引进、消化、创新开发和潜心研发,取得实质性突破,一体化解决了声能制冷机核心技术与关键技术以及一系列产品生产工艺问题,所有技术均拥有完全自主知识产权。

  • 特低功耗物联网传输芯片

    项目简介:团队研究物联网通讯市场多年,以BLE的技术为蓝本,针对BLE面向对象的链接方式中存在的不适用于IoT的技术点:链接数目太少,通讯距离太近,功耗太大等通过芯片和协议的创新提出自主创新且具有独家专利的技术 ULPWA:超低功耗,广链接,广覆盖。

  • 基于Eink技术的护眼节能产品的研发与产业化

    项目简介:基于Eink技术研发呵护全人类眼睛的产品