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BTZ-4100型半自动探针台

发布时间:2018-09-11 访问次数:1637次 分享:

 BTZ-4100型半自动探针台是对半导体分立器件晶圆芯片进行自动测试的设备,它与测试仪连接后能自动完成对半导体分立器件的电参数测试及功能测试。
BTZ-4100型半自动探针台具备自动图像扫描对准、自动寻找第一点、自动测试功能;采用软件补偿技术,实现芯片测试划痕可控功能。采用Windows操作界面,测试状态MAP图实时显示,有双针测试组件供选购。
BTZ-4100型半自动探针台具有实时打点、滞后打点和脱机打点功能,测试结果可存储,便于统计。配有遮光罩进行遮光测试,测试性能更稳定。
基本技术指标: 1.可测片径:3″、4″

2.显微镜:单目电子显微镜
3.工作台行程:X140mm×Y162mm 
4.定位精度:±0.015mm/110mm
5.重复精度:±0.005mm
6.步进分辨率:0.002mm
7.Z向行程:0~3mm
8.θ向调节范围:±15o
9.XY向自动对准精度:≤0.02o
10.扫描对准时间:≤20S
11.外形尺寸:长×宽×高660mm×850mm×1400mm
12.机器重量:约260Kg

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