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电子束蒸发镀膜机

发布时间:2018-09-12 访问次数:1812次 分享:

 
TFC- 3500是一款可在超净间内使用的低成本镀膜机,它广泛应用于lift-off, conformal和光学镀膜等精密薄膜场所。此系统也应用于工艺过程需要加热,需要离子源清洗和离子源辅助沉积及两个蒸发源的组合沉积。此系统的基本配置提供750mm蒸发距来满足lift-off工艺应用。该系统支持多种组合的沉积源,辅加电源及各种不同的基片装卸夹具。

标准功能配置

系统控制
以PC为基础的控制系统提供了:
自动,手动以及维护三种系统控制模式 系统具运行和事故记录功能以及完整工艺数据记录功能 电子枪扫描图案可设置和控制 可编程的闭环控制基片加热 闭环自动控制沉积速度和膜厚 

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