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W系列—键合扫描仪

发布时间:2018-05-28 访问次数:8287次 分享:

W系列—键合扫描仪

专利号:ZL201120527630.6


功能描述:

1. 采用电动连续变倍显微组合,综合放大倍率为8.0~100倍;

2. 超深景深,适合薄膜、厚膜、深腔(LTCC)三类键合丝缺陷扫描;

3. 采用特种组合光源实现高亮环形及同轴光可切换照明;

4. 快速扫描拼图,扫描速度>30mm2/秒;

5. 超长物镜工作距离>20mm;

6. 高品质快速扫描成像系统;

7. 自带全功能缺陷扫描及分类软件,同时支持长方形及半圆件检测。

系统配置:

用途

键合工艺分析 - 缺线、断线、弯线、交叉丝缺陷检测

型号

WB-2K2

载物台

全自动扫描载物台

行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可选

支持夹具定制

反馈系统

线性反馈尺,解析率:0.1um/1.0um可选

聚焦

电动聚焦系统,快速锁定焦平面,保障高效精确检测

探测系统

特殊显微组合设计,快速扫描成像系统

综合放大倍率8.0x~100x,超长工作距离 > 20mm

照明系统

专用组合环形光源及同轴光可切换照明

软件系统

高性能键合扫描及分析算法软件系统

提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端

检查性能

高品质自动抓图及拼图功能,确保无漏检

(自动扫描误检率≤5%,结合人工廻检可确保无误检)

扫描速度

> 30mm2/s

隔震系统

隔振平台,有效隔离高频振动

标配外观尺寸

长:1200mm  宽:800mm  高:1500mm

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