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光滑表面微缺陷检测系统 (MPLS-2100型)

发布时间:2018-09-05 访问次数:323次 分享:

 

超光滑表面微缺陷检测是一款基于激光散射原理的超高灵敏度表面光学表面微缺陷设备。改设备具有检测灵敏度高、检测口径打、检测速度快等特点。准直光束通过一个大口径汇聚镜,并经角向扫描在被测样品表面形成一条汇聚线,测量时,被测样品通过一个平移台沿与扫描光束垂直的方向移动,可在很短的时间内完成对表面100%的检测。

    该设备可检测光滑表面的微小划痕、污迹、麻点、缺膜、膜厚均匀度等,可代替目前通常采用的人工检测方式。具有灵敏度高、一致性好、可靠性高、检测速度快等优点,特别适合工业生产中在线检测。检测结果可根据用户要求进行自动分析、归类、统计,可有效提高生产效率和生产良率。